MOCVD法制备双面带材的模拟计算与实验研究初探

来源 :第十三届全国电介质物理、材料与应用学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zhangfei0960

【摘要】

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采用金属有机化学气相沉积(MOCVD)法制备双面YBa2Cu3O7-δ(YBCO)高温超导带材，将Y(DPM)3、Ba(DPM)2和Cu(DPM)2源按配比混合，由氩气与氧气携带送入反应室，利用Computational Flui

【作者】

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于淼张昭高磊敬通国熊杰赵晓辉陶伯万

【机构】

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电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室成都610054

【出处】

：

第十三届全国电介质物理、材料与应用学术会议

【发表日期】

：

2010年11期

【关键词】

：

气流场温度场金属有机化学气相沉积高温超导带材 YBCO薄膜

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采用金属有机化学气相沉积(MOCVD)法制备双面YBa2Cu3O7-δ(YBCO)高温超导带材，将Y(DPM)3、Ba(DPM)2和Cu(DPM)2源按配比混合，由氩气与氧气携带送入反应室，利用Computational Fluid Dynamics软件模拟计算双面沉积MOCVD设备反应室的气流场和温度场.拟合结果表明采用较低的气流速度有利于基带上温度的均匀性的提高.通过优化反应室温度和工作气压等参数，成功制备出表面平整度较高、致密性较好，具有良好双轴取向生长的YBCO薄膜.

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