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本实验成功的建立了将粉末碳化硅制备成适合激光剥蚀电感耦合等离子体质谱检测的块状固体，并通过对两台仪器的各个参数的调节，得到了较高的灵敏度和较好的信号稳定性，同时有效的减小了剥蚀过程中的分馏效应。采用外标与内标相结合的方法，对各元素的信号进行校正，得到较好的线性和检出限。检测碳化硅标样BAM-5003中痕量元素含量，结果与标准值吻合较好。