【摘 要】
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目前芯片级的磁场传感器越来越受到关注。本文设计一种基于MEMS的激光铯磁力传感系统,即将系统垂直地叠加在一个硅芯片上,用垂直腔表面发射激光器泵浦一个玻璃和硅基之间的铯
【基金项目】
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国际科技合作项目(No.2008DFR20420)
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目前芯片级的磁场传感器越来越受到关注。本文设计一种基于MEMS的激光铯磁力传感系统,即将系统垂直地叠加在一个硅芯片上,用垂直腔表面发射激光器泵浦一个玻璃和硅基之间的铯吸收室,如外界有磁场,即便是非常微弱,这些原子的阵列也会发生变化,通过光泵磁共振即可探测磁场的信息。文中给出了MEMS铯激光磁力传感系统的理论分析和系统设计,对粒子数的跃迁过程进行了计算和研究。相信芯片级的磁场传感器将具有广泛的应用前景。
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