DOFMCT的电子辐照研究

来源 :第十届全国半导体集成电路、硅材料学术会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:WXY0216
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该文对电子辐照以缩短DOFMCT的关断时间和对正向压降的影响进行了分析。对DOFMCT器件的电子辐照和退火的实验结果表明:获得了优化的器件关断时间和正向压降的折衷。
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