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会议论文
DOFMCT的电子辐照研究
DOFMCT的电子辐照研究
来源 :第十届全国半导体集成电路、硅材料学术会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:WXY0216
【摘 要】
:
该文对电子辐照以缩短DOFMCT的关断时间和对正向压降的影响进行了分析。对DOFMCT器件的电子辐照和退火的实验结果表明:获得了优化的器件关断时间和正向压降的折衷。
【作 者】
:
李学宁
游志朴
【机 构】
:
科大微电子所
【出 处】
:
第十届全国半导体集成电路、硅材料学术会
【发表日期】
:
1997年期
【关键词】
:
正向压降
关断时间
电子辐照
器件
优化
退火
缩短
实验
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该文对电子辐照以缩短DOFMCT的关断时间和对正向压降的影响进行了分析。对DOFMCT器件的电子辐照和退火的实验结果表明:获得了优化的器件关断时间和正向压降的折衷。
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