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用离子束辅助沉积技术在9Cr18钢基体上形成了TiC〈,x〉N〈,y〉膜。TEM观察膜呈多晶结构,具有(111)、(200)和(220)择优取向。AES和XPS分析进一步证实,TiC〈,x〉N〈,y〉3×10〈’17〉ions/cm〈’2〉的硬度最高,干摩擦表明膜的抗氧化性能优良。其存在能有效抑制基体在摩擦过程中氧化皮的形成,又由于硬度高,润滑性良好,能显著改善基体的磨损特性,并有使基体有粘着磨损向磨粒磨损转化趋势。