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本文从硅压阻式压力传感器的失效模式入手,探讨了硅压阻式压力传感器的可靠性与材料、表面电荷及金属化的关系,并提出了提高可靠性的途径.
硅压力传感器芯片的可靠性设计
【摘 要】
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本文从硅压阻式压力传感器的失效模式入手,探讨了硅压阻式压力传感器的可靠性与材料、表面电荷及金属化的关系,并提出了提高可靠性的途径.
【机 构】
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中国电子科技集团第四十九研究所
【出 处】
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2003第十届全国可靠性物理学术讨论会
【发表日期】
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2003年期
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