快速扫描光荧光谱表征GaAs的技术研究

来源 :第四届中国功能材料及其应用学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zhoubear

【摘要】

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该文详细研究了快速扫描光荧光谱(PL Mapping)在表征半绝缘砷化镓(SI-GaAs)材料中的应用,实验结果表明SI-GaAs晶片的PL强度及Mapping均匀性对器件性能有着十分密切的关系,所

【作者】

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李光平汝琼娜李静何秀坤王寿寅陈祖祥

【机构】

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信息产业部电子第四十六研究所(天津)

【出处】

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第四届中国功能材料及其应用学术会议

【发表日期】

：

2001年期

【关键词】

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快速扫描光谱表征均匀性材料质量半绝缘砷化镓位错密度器件性能晶片光荧光谱表面质量碳含量迁移率电阻率应用选优实验浓度参数

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该文详细研究了快速扫描光荧光谱(PL Mapping)在表征半绝缘砷化镓(SI-GaAs)材料中的应用,实验结果表明SI-GaAs晶片的PL强度及Mapping均匀性对器件性能有着十分密切的关系,所以在为制备器件筛选优质的SI-GaAs材料时,除了电阻率、迁移率、位错密度、碳含量、EL2浓度及其均匀性、晶片表面质量外,PL Mapping也是表征材料质量的一个重要参数.

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