【摘 要】
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随着集成电路的集成度越来越高,内部封装的电极间隙越来越小,达到微米甚至亚微米量级,常规大间隙气体放电击穿规律不适用,微间隙下气体击穿放电将出现新的特点。为更清晰的了
【机 构】
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北京理工大学机电学院; 北京理工大学物理学院;
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随着集成电路的集成度越来越高,内部封装的电极间隙越来越小,达到微米甚至亚微米量级,常规大间隙气体放电击穿规律不适用,微间隙下气体击穿放电将出现新的特点。为更清晰的了解微间隙下气体放电的特性,本文设计了一种三坐标机械调节装置,研究不同气体和气压下,针-板、线-板和板-板电极等微间隔(1μm~100μm)的放电特性,测试了其击穿电压及伏安特性曲线。发现微间隙放电不遵守经典Paschen定律,尤其在4μm及以下尺寸的间隙下,其击穿电压受气体压力因素影响较小,而且击穿电压随间隙减小而减小,可以达到100V以下,低于目前静电防护安全标准。这一结果为微电子行业防静电标准的制订和防护措施的提供了实验依据。
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