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ALD-Al2O3薄膜折射率随厚度的变化研究
【机 构】
：
复旦大学信息科学与工程学院,上海超精密光学制造工程技术研究中心,上海,200433
【出 处】
：
第一届全国椭圆偏振光谱学研讨会
【发表日期】
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2014年期
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