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本文设计了一种基于电路互补理论的太赫兹高通滤波器,分别利用叉指微带线和并联短路短截线等效串联电容和并联电感,在15μm厚的Ga As介质上实现了0.75THz的分布式高通滤波器结构。各项尺寸符合MEMS工艺的加工要求,通带内的损耗在4dB左右,且在0.75THz的输出端归一化输入导纳为0.01,通带内导纳为0.02,能够达到与相应的低通滤波器互补匹配的要求。通过仿真分析发现,减小叉指长度能够降低寄生参量带来的影响,保证其高通的互补特性,为太赫兹高通滤波器的设计提供了可行性分析。