【摘 要】
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利用PF-PECVD法,对经喷砂酸蚀处理的医用纯钛片进行等离子体氧化处理:以表面接触角为评价依据对工艺参数进行了优化,发现在本实验条件下,以Ar/O2流量比10sccm/10sccm、射频功
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利用PF-PECVD法,对经喷砂酸蚀处理的医用纯钛片进行等离子体氧化处理:以表面接触角为评价依据对工艺参数进行了优化,发现在本实验条件下,以Ar/O2流量比10sccm/10sccm、射频功率250W、直流偏压-500V、氧化时间1h的工艺条件制备获得的样品具有接触角接近0°的超亲水表面。XPS和XRD检测结果表明,样品表面化学成分为TiO2、Ti2O3和TiO组成的多晶体,并含有沿（1,0,1）晶面生长的锐钛矿相和金红石相。SEM观察样品表面形貌发现,等离子体氧化处理在原始表面原位生长了氧化薄膜,保持了由喷砂酸蚀处理获得的多孔嵌套结构。成骨细胞黏附增殖实验和MTT法细胞增殖率测试显示,钛片经喷砂酸蚀和等离子体氧化处理后,表面骨细胞黏附、生长和增殖情况良好,生物活性优于未经等离子体氧化处理的SLA钛片。
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