【摘 要】
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非制冷红外探测器广泛应用于消防，汽车夜视，监控和军事等诸多领域。而氧化钒非制冷红外探测器具有高电阻温度系数、室温下运行无需制冷的特点，是一类性能优异的热红外探测器
【机 构】
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华中科技大学光电子科学与工程学院,湖北 武汉 430074 武汉光电国家实验室,湖北 武汉 430074
【出 处】
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第十三届全国红外加热暨红外医学发展研讨会
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非制冷红外探测器广泛应用于消防，汽车夜视，监控和军事等诸多领域。而氧化钒非制冷红外探测器具有高电阻温度系数、室温下运行无需制冷的特点，是一类性能优异的热红外探测器。采用电化学腐蚀多孔硅方法和两种不同流程制备了128元线列氧化钒非制冷探测器，增加了TiN吸收层。分析了多孔硅牺牲层的反应机理并对两种流程的效果进行了比较。
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