射频溅射生长ZnMgO薄膜的特性研究

来源 :第十九届全国半导体物理学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户：wjh901223

【摘要】

：

ZnMgO因具有高透过率、带隙较宽且连续可调等特点,是CIGS太阳电池缓冲层的理想材料,制备高质量的ZnMgO薄膜是提高电池效率的关键[1-2].

【作者】

：

江秋怡王卿璞王丹丹

【机构】

：

山东大学物理学院,山东济南250100

【出处】

：

第十九届全国半导体物理学术会议

【发表日期】

：

2013年2期

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ZnMgO因具有高透过率、带隙较宽且连续可调等特点,是CIGS太阳电池缓冲层的理想材料,制备高质量的ZnMgO薄膜是提高电池效率的关键[1-2].

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