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微定位技术是前沿技术之一,在精密机械和精密仪器中应用广泛.本文对目前常见的机械传动、弹性变形、直线电机和智能材料等几种微定位机构的工作原理、特点和优缺点进行了介绍和比较.着重介绍了压电驱动的微定位机构.最后介绍了笔者在这一领域的研究工作.
多自由度微定位技术研究展望
【摘 要】
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微定位技术是前沿技术之一,在精密机械和精密仪器中应用广泛.本文对目前常见的机械传动、弹性变形、直线电机和智能材料等几种微定位机构的工作原理、特点和优缺点进行了介绍
【机 构】
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重庆大学光电工程学院(重庆)
【出 处】
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第五届全国微米/纳米技术学术会议
【发表日期】
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2001年期
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