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采用有限元法对硅基二氧化硅波导在玻璃化过程中的应力与Si衬底厚度和背面氧化层厚度的关系进行了系统的分析；在此基础上，应用全矢量有限差分束传播法(FD-BPM)对应力光波导的双折射进行了分析。结果表明随着Si衬底厚度的减薄波导附近水平方向和垂直方向所受应力趋于一致，双折射系数B减小；Si衬底背面氧化层的存在使双折射系数略有增大。