【摘 要】
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论文提出了对传统磁控溅射镀膜设备的一项新型改进技术,即在放电空间内外加辅助阳极结构。对辅助阳极的整体结构及各部件进行了详细的设计计算与说明。又将辅助阳极结构安装
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论文提出了对传统磁控溅射镀膜设备的一项新型改进技术,即在放电空间内外加辅助阳极结构。对辅助阳极的整体结构及各部件进行了详细的设计计算与说明。又将辅助阳极结构安装在传统的磁控溅射镀膜设备中对其实用性进行了实验探究,记录了实验过程中磁控溅射靶和辅助阳极的输出电流和电压。用COMSOLMultiphysics软件模拟探究了辅助阳极电压与安装位置对于等离子体分布的影响。当辅助阳极电压为30V、距溅射靶125mm时空间内的电子密度最大,等离子体离化率最高。
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