适用于平面显示器透明电极的ZnS/Ag/ZnS纳米多层薄膜

来源 :第四届中国功能材料及其应用学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xxcoldrain
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采用真空蒸镀工艺,开发和制备了ZnS/Ag/ZnS(D/M/D)纳米多层薄膜,并对D/M/D膜的结构设计、表面形貌、光电性能及其影响因素进行了详细分析讨论,最终成功地制备具有优异结构的40nmZnS/18nmAg/40nmZnS适用于平面显示器透明电极纳米多层膜.该薄膜具有优良的导电性能(Rs=3Ω/cm<2>),和良好的截止滤通性能(即可见光区域高透过率T<,hm>>90℅和红外区域高反射率R<,2500>>95℅),在550nm光波处电气评价指标F<,TC>最高达到了7.3×10<-2>Ω<-1>,超过了现有的透明导电氧化物薄膜和ITO/Ag/ITO多层膜.
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