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在微细超声波加工单晶硅<100>面过程中,通过适当调整加工参数,可以使加工表面呈现出塑性加工的特征,从而提高材料的表面质量。但目前对于微细超声波加工的去除模式并没有一个客观统一的判别方法,主要根据主观观察来判断加工表面属于塑性或脆性去除。通过大量实验分析,得出表面粗糙度Rpk可以作为判别微细超声波加工单晶硅<100>面材料去除模式的判别标准,并且通过实验进行了验证。