【摘 要】
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为实现半导体器件检测过程自动化，减少人为误操作，提高测量的效率，以LabVIEW9.0为检测系统的开发平台，设计了半导体器件参数自动测试系统.首先介绍了该系统开发需要的软、硬
【机 构】
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China Air-borne Missile Academy,Luoyang 471001
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为实现半导体器件检测过程自动化，减少人为误操作，提高测量的效率，以LabVIEW9.0为检测系统的开发平台，设计了半导体器件参数自动测试系统.首先介绍了该系统开发需要的软、硬件资源，详细介绍了软件设计流程及功能实现部分，该系统实现了对半导体器件的检测和对仪器的控制功能，并提供了数据存储、图形显示、错误报警等功能.实验结果表明，系统具有良好的人机对话界面，操作方便，且程序拓展性好，为其他同类型器件测量程序的开发缩短了周期.
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