【摘 要】
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流量传感器的测量和控制在工业发展和海洋、航空航天、环境科学众多领域中都有着广泛的应用,近年来随着对微电子机械系统的发展,使得微型流量传感器具有积小、易集成、功耗小
【机 构】
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西安交通大学机械制造系统国家重点实验室 西安710054
【出 处】
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第十三届全国敏感元件与传感器学术会议
论文部分内容阅读
流量传感器的测量和控制在工业发展和海洋、航空航天、环境科学众多领域中都有着广泛的应用,近年来随着对微电子机械系统的发展,使得微型流量传感器具有积小、易集成、功耗小、可靠性高、精度高以及易于利用标准的IC技术实现集成化等优点.本文主要针对一种新型具有梁膜结构的中央硅膜作为主要结构的传感器,完成对管道内流量的测量.并利用Ansys Workbench在协同仿真平台,对工作状态下的流量传感器进行流体动力学分析,通过参数化建模、确定材料环境外围条件,流固耦合仿真分析,传感器内部结构的变形数据分析等,表明这样的传感器结构设计具有良好的线性度,并验证了梁膜结构的感压元件的结构优势可以提高流量传感器的灵敏度。
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