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x)Si_xN相关论文
Zr_(1-x)Si_xN纳米涂层的制备及其力学性能
采用直流与射频共溅射技术制备Zr1-xSixN纳米涂层。通过改变Si靶溅射功率控制涂层中Si含量,研究了不同Si含量对Zr1-xSixN涂层的物......
期刊
纳米涂层
Zr
x)Si_xN
涂层结构
氮化硅锆涂层
磨损性能
摩擦因数
塑性形变
非晶结构
物相结构
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