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TiN复合膜相关论文
Cu—Zn掺杂对TiN复合膜层组织性能的调制
利用磁控溅射方法在不锈钢表面沉积了Cu—Zn掺杂TiN复合膜,研究不同的cu、zn含量对膜层结构和性能(硬度、耐磨性能以及耐腐蚀性能)的......
期刊
磁控溅射
TiN复合膜
Cu-Zn掺杂
magnetron sputtering
TiN films
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