研究了多弧离子沉积（ＴｉＦｅＣｒ）Ｎ多元膜的性能，并与同一设备下沉积ＴｉＮ膜的性能进行比较。结果表明，（ＴｉＦｅＣｒ）Ｎ多元膜的力学性能和耐蚀性能均优于ＴｉＮ膜。定量金相分......