SiON薄膜相关论文
本论文采用双离子束溅射沉积方法制备了Si-SiOx、SiOx:C、SiOxNy复合薄膜,TEM及XRD的测试表明三种薄膜均为非晶结构,通过FTIR和XPS进......
该文采用热电子注入、俄歇电子能谱(AES)分析和红外光谱分析研究等离子化学气相淀积方法(PECVD)制备的富氮SiON薄膜的微观结构和电......
该文采用光Ⅰ-Ⅴ法、雪崩热电子注入、俄歇电子能谱(AES)分析和红外光谱分析研究等离子体化学相淀积方法(PECVD)低温制备的富氮SiO......
采用全矢量交替方向隐含迭代方法系统分析了高折射率 Si ON薄膜对 Si基 Si O2 阵列波导光栅中波导应力双折射的影响 .分析结果表明......
在等离子激发条件下,进行了SiO_2,和SiON介质薄膜生长实验,研究了沉积参数射频功率、反应压力、反应气体流量比及总流量、反应温度对沉积薄膜的......