SU-8光声传感器相关硕士博士期刊学术论文

超声信号能引起SU-8材料的厚度变化,将一薄层厚度均匀的SU-8膜镀在盖玻片上,再镀一层均匀金属银制成光滑反射面,制作了一个光声传......