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SGOI材料相关论文

改进型Ge浓缩技术制备SGOI及其机理研究

SiGe-on-Insulator(SGOI)是一种新型的SOI材料,在微电子领域具有广泛的应用前景.本文对原有Ge浓缩技术进行改进,将Si/SiGe/Si三明......

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SGOI材料 Ge浓缩技术氧化退火

Ge浓缩技术制备SGOI过程中应力释放机理

基于Ge浓缩技术,通过氧化生长在silicon-on-insulator(SOI)衬底上的SiGe,成功制备出驰豫的SiGe-on-Insulator(SGOI)材料.Raman结果......

会议

SiGe 应力释放氧化扩散 Ge浓缩技术 SGOI材料

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