本文用离子注入Ｘｅ原子双标记法和Ｏ１８示踪技术研究铝阳极氧化机理，用卢瑟福背散射（ＲＢＳ）技术分析Ｘｅ原子的分布及膜厚，月二次离子质谱（ＳＩＭＳ）技术分析Ｏ１８的分布......