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采用磁控溅射技术(magnetron sputtering)在Si基片上沉积了抗氧化的Ni-Al薄膜,构建了具有Pt/ LNO /PZT/LNO/STO、Pt/PZT/LNO/SiO2/......
Ni-Al薄膜是一种很有发展前景的热敏薄膜材料。本论文用双靶直流磁控共溅射法制备了Ni-Al薄膜,利用AFM、SEM-EDS、XRD、SPAT对Ni-Al......
研究了在纳米厚度范围内,Ni-Al薄膜的电阻率与表面粗糙度的关系.利用直流磁控溅射方法,使用高纯度(99.99%)的Ni、Al靶,通入Ar气制备......