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对采用迅速热处理方法制备的重新氧化氮化n-MOSFET’s的断态栅电流Ig的温度特性进行了实验研究和理论分析,研究表明,在合适的氮化和重新氧化条件......
通过与热氧化n-MOSFET’s比较,调查了N2O氮化(N2ON)n=-MOSFET‘s在最大衬底电流IBmax和最大栅电流IGmax应力下的低温热载流子效应,结果表明,N2ON器件在低温就在室温一样呈现出大大......