MOEMS(Micro-Opto-Electro Mechanical Systems)给传统光学器件的设计和制造带来了全新的思路，它具有性能灵活、低成本、尺寸小和易......

已经证实光学轮廓仪能成功地检验未封装MEMS器件的表面特性。可是，大部分器件必须在不同条件的封装之后，如真空、升高温度或其它特殊......