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MOCVD高温测量系统相关论文
MOCVD多通道高温测量系统的研制
MOCVD(金属有机物化学气相沉积)是一种制造半导体器件、金属化合物薄膜材料的新技术。其工艺过程中有很多工艺参数需要监控,如温度......
学位
MOCVD高温测量系统
单波长红外测温
光学设计
温度标定
线性拟合
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