MEMS构件相关论文
开发了可用于MEMS微制造和微装配过程的一种面向MEMS构件的在线监测和三维外型测量的视觉系统。介绍了该系统的设计、结构、工作原......
在MEMS领域中,可活动的构件,如悬臂梁、桥和链等,由于不可避免的工艺因素,会影响其内部残余应力、泊松比等机械参数,在构件释放时,......
