MEMS反射镜相关论文
本文对一种基于表面微加工技术反射镜的显示系统进行性能分析.显示系统由一个简单的两薄膜结构微镜所组成,该微镜采用表面微加工工......
MEMS反射镜由1mm的反射镜板和四个静电斥力致动器构成。MEMS反射镜使用表面微加工工艺Poly MUMPs制造而成,包括四个致动器的MEMS反......
