LiTaO3晶片相关硕士博士期刊学术论文

在制造红外热释电探测器阵列过程中，需要利用超薄钽酸锂（LiTaO3）晶片作为红外热释电探测器件的敏感层。通常LiTaO3晶片的厚度远厚于红......