在热丝化学气相沉积(Hot Filament Chemical Vapor Deposition,简称HFCVD)金刚石膜的系统中,系统温度场和流场的分布直接决定着金......

类金刚石薄膜是一种在很多性质上接近金刚石的非晶材料,特别是具有在红外甚至部分可见光区透明的特点,所以它可以用来作为光学玻璃......

热丝对衬底的辐射是决定热丝化学气相沉积金刚石薄膜系统内衬底表面温度分布的主要因素.本文基于辐射传热基本原理,并考虑变热物性......