F-P微腔相关论文
提出了一种单片制作的四梁悬臂F-P微腔结构,用于MOEMS光开关的制作.为了减小残余应力对器件性能的影响,采用了具有不同初始应力的......
提出法布里一波罗微腔结构的荧光屏,该微腔荧光屏由前反射镜、薄膜荧光粉层、后反射镜三部分组成,前后反射镜是由多层介质膜构成的......
