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离子束溅射下硅表面形貌的研究
本论文研究在束流密度为20μA/cm2的离子束溅射下,Si(110)表面形貌随温度和离子能量的变化;研究离子束溅射下,Si(100)表面形貌随束流......
学位
离子束溅射
硅
纳米点
ES扩散
BH模型
再沉积
表面形貌
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