EB-PVD技术相关硕士博士期刊学术论文

本文采用EB-PVD技术通过直接蒸发SiC靶材在不锈钢基体上制备了不同类型的Si-C纳米涂层。首先通过热力学计算，初步研究了SiC的蒸发行......