DUV光致抗蚀剂相关论文
综述了近十年来DUV抗蚀剂体系的进展,特别对DUV区化学增幅抗蚀剂的矩阵树脂、产酸源、阻溶剂作了详细的阐述.并指出,通过改进感光......
(续上期)在DUV抗蚀剂中除第1部分已介绍过的主体成膜高分子以外,产酸源、阻溶剂及其他一些添加剂也是抗蚀剂体系不可缺少的组分,对......
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