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射频溅射法制作Y2O2S:Eu发光薄膜
在钇铝石榴石单晶基片上用射频溅射法制取了Y2O2S∶Eu红色发光薄膜.利用正交试验法,对溅射气体(Ar+H2S)中H2S浓度、退火气氛中SO2......
期刊
Y2O2S:Eu
发光薄膜
射频溅射
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荧光材料
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Cathodoluminescent thin film
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