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Al—Cu—Fe薄膜相关论文

基底材料对磁控共溅射Al—Cu—Fe薄膜特性的影响

采用磁控共溅射工艺来制备Al—Cu—Fe薄膜，选用抛光状态的纯Al、纯Cu和不同粗糙度的不锈钢基作为基底材料。通过原子力显微镜分析薄......

期刊

Al—Cu—Fe薄膜磁控共溅射基底材料表面形貌结合强度粗糙度 Al-Cu-Fe thin films Magnetron co-sputtering

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