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5步相移法相关论文
Mirau相移干涉法测量微透镜阵列面形
基于Mirau相移干涉法,在实验室环境下对微透镜阵列的微表面形貌进行了轮廓测量.实验使用He-Ne激光器作为光源,干涉成像系统由Mirau干......
期刊
Mirau干涉
相移干涉法
面形测量
5步相移法
压电陶瓷
微透镜阵列
Mirau interference
Phase-shifting interfer
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