采用低温法进行１０~（－９）级水的分析ＫａｙＤｅｎｓＢｕｃｋＲｅｓｅａｃｈ公司（ＢｏｕｌｄｅｒＣＯ）介绍了一种仪器，它可以在半导体生产过程中，进行气体中１０－９和１０－１２水量的在线测定。该仪器为“ＣＲ—１型气体水分分......