随着MEMS技术的兴起,厚度>1μm的PZT陶瓷厚膜的制备和性能研究成为一个十分活跃的领域.该论文旨在探索Sol-Gel工艺制备PZT陶瓷厚膜......

采用0-3复合法,在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上成功制备了单层厚度0.9μm,总厚度10μm,并且无裂纹的Pb(Zr0.53,Ti0.47)O3铁电薄膜.溶液中粉......

由于电子技术、信息技术和控制技术的发展,器件的小型化和集成化,对材料提出了新的要求。PZT薄膜因其优良的压电性能、热电性能、......