ＤＥＭ技术（Ｄｅｅｐｅｔｃｈｉｎｇ，Ｅｌｅｃｔｒｏｆｏｒｍｉｎｇ，Ｍｉｃｒｏｒｅｐｌｉｃａｔｉｏｎ）是继硅加工技术和ＬＩＧＡ技术发展起来的一种全新的非硅三维微加工新技术，该技术吸收了体硅微加工技术和ＬＩＧＡ技术的工艺优点与ＬＩＧＡ技术相比，它具......