采用自制的立式HVPE设备,在GaN/蓝宝石复合衬底上生长了GaN厚外延膜,利用AFM,SEM,XRD,RBS/Channeling,CL,PL以及XPS等技术分析了厚......

采用自制的立式HVPE设备，在GaN／蓝宝石复合衬底上生长了GaN厚外延膜，利用AFM，SEM，XRD，RBs／Channeling，CL，PL以及XPS等技术分析了厚膜的结构......