面型参数相关论文
研磨作为4H碳化硅(4H-SiC)晶片加工的重要工序之一,对4H-SiC衬底晶圆的质量具有重要影响。本文研究了金刚石磨料形貌和分散介质对4H-S......
由于非球面能够有效的校正成像光学系统的像差,改善成像质量,同时还可以使系统小型化,轻量化,使其在成像光学系统中备受青睐。非球......