非线性静电力相关论文
在微机电系统(MEMS)中,MEMS器件的性能、寿命、可靠性和稳定性都与材料的弹性模量密切相关。弹性模量是材料重要的性能参数。......
载体的运动会导致微机械陀螺的响应发生变化,因而引起测量误差,甚至导致系统故障。针对载体运动对微机械陀螺响应的影响开展研究。......
