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非晶氢化碳化硅薄膜相关论文

非晶氢化碳化硅薄膜的沉积和硬度特性研究

非晶a-SiC:H薄膜具有良好的摩擦学性能,尤其具有高硬度.这类膜的性质主要取决于制备条件.本文报道了类石墨型a-C:H中含有少量硅时,......

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非晶氢化碳化硅薄膜薄膜性能沉积条件

热处理对p型单晶硅非晶SiC∶H钝化效果的影响

研究了不同热处理条件对非晶氢化碳化硅薄膜(a-SiC∶H)对p型单晶硅钝化效果的影响,认为不同热处理条件影响了H在薄膜中的含量及向......

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热处理条件单晶硅非晶氢化碳化硅薄膜 SiC 化效果不同热处理条件影响含量传输

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