静电排斥驱动器相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

静电排斥驱动器相关论文

一种新型MEMS离面驱动器的设计与分析

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期刊

微机电系统静电排斥驱动器蛇形弹簧梁模态行程带宽 MEMS electrostatic repulsive actuators serpentine s

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